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| 新闻动态 |
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| 研磨抛光机简化的研磨抛光特征曲 |
| 发布日期：2013-5-18 点击次数：1363 |
为了简化次摆线的研磨抛光点发布的规律，而在这三条平行的直线上取三条平行线，而在上下两条平行线上取较密的一组点，之后，分别以这些点为圆心，以一个研磨抛光半径或者是以上三条平行线为半径，这些相互搭接着的网纹，就会称之为被简化了的研磨抛光特征曲线。
为了得到最佳的研磨抛光机的曲线，最为准确的办法是得到其研磨抛光机运动中的特征曲线，能够将其轨迹上的各点用相互平行的直线上的点来代替，然后以这个点为圆心，以研磨抛光半径作圆。
然后以这些点为元相互搭接的网纹来代替其研磨抛光轨迹的网纹，也可以发现其最大的不足在于它所存在的偏差是很大的，这主要是因为工件的运动的轨迹是一条连续圆环线实际上是一种单一次的摆线特征。其主要的特点是沿着x轴向两侧方向是较稠密的，而中间比较的稀疏。
研磨抛光机简化的研磨抛光特征曲线
这就是直线上若干点做研磨抛光图的依据，由于在作图的时候考虑的的研磨抛光机抛光轨迹而忽略了实际符合次摆线轨迹真是存在的点发布情况，所以，简化抛光特征曲线的网纹与实际上复合次摆线的轨迹的网纹偏差是很大的，它只能够从一定程度上反映其轨迹的主要特征。
如：硅片抛光机在对硅片进行作用的时候，依据上述方法，所做出来的硅片抛光的轨迹实际上只是硅片抛光轨迹中大致的特征，其中的复合运动绘制简化了其轨迹的特征曲线。
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