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| 新闻动态 |
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| 抛光液浓度对工件粗超度的影响 |
| 发布日期：2013-11-23 点击次数：921 |
抛光液的浓度是平面抛光中探讨最多也是众多研究人员分析最多的问题之一，因为抛光液的浓度直接关系到平面抛光机上工件的加工效果，具体来说是影响工件粗超度的值。如何让工件表面粗超度的值最小成为了研发人员最重要的研究课题，这一课题跟抛光液的浓度就有着很深地关系。
抛光液的浓度不宜过弄过稀，他们之间有一个最佳值，只有在这个最佳的范围内才能保证工件表面粗超度的良好性。抛光液过浓的话会导致研磨时，工件表面的磨削力变大，会导致表面有划痕，不光滑，同时粗超度也变大。当抛光液过稀时，工件表面磨削力太小，去除表面很慢也起不到去除斑点，划痕的效果，因此粗超度也会变大。只有抛光液浓度适当时这些问题才能彻底解决。以下是某实验的现象，仅供参考。
假设：抛光轮转速为6000 r/min，抛光液流量为0.6L/min。如图3所示，随着CeO2浓度的增大，氮化硅陶瓷加工表面Ra值变小，当抛光液浓度超过X%后，Ra值增大。其原因为: 抛光液浓度较低时，抛光液中CeO2微粒不足，即没有足够的CeO2微粒参与化学反应，从而使氮化硅材料的去除率较低，表面粗糙度差; 当抛光液浓度增大时，化学机械抛光过程中参与化学反应的原料供应增加，加大了有效机械研磨作用，使局部温度升高，化学反应加速，并且生成的软质层被有效去除，从而实现了较高的去除率和加工表面质量; 抛光液的浓度进一步增大时，化学作用得到进一步的增强，但是机械作用相对不足，导致表面粗糙度值增大。
文章中的X值是在实验假设中的一个最佳浓度值，只要精算出这个值，我们就能有效的把握住工件表面粗超度的最小值顺利达到。
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